半导体设备在吊装搬运时需要注意哪些事项？

半导体设备在吊装搬运时，需结合设备精密性、高价值及环境敏感性等特点，从前期准备、操作规范到防护措施进行全流程管控，具体注意事项如下：

一、前期准备与方案规划

1. 设备参数与工况评估

基础数据收集：确认设备重量、尺寸、重心位置（需参考设备手册或厂家标注），明确吊装点位置（通常设备顶部设有专用吊环或吊装接口）。

环境兼容性：

搬运路径需满足无尘要求（如通过无尘车间时，路径需提前清洁并铺设防尘布），避免灰尘颗粒污染设备内部精密部件。

地面承重能力需≥设备重量的 1.5 倍（如设备重 5 吨，地面承重需≥7.5 吨），必要时铺设钢板增强支撑。

2. 吊装工具选型与检查

工具匹配：

选用承重能力≥设备重量 1.2 倍的吊具（如钢丝绳、合成纤维吊带），例如 2 吨设备需使用额定载荷≥2.4 吨的吊带。

起重机 / 叉车的起升高度需高于搬运路径最高点 0.5 米以上，避免碰撞天花板或障碍物。

安全检查：

吊具表面无裂纹、磨损（如钢丝绳断丝数超过 10% 需更换），吊钩防脱装置完好。

起重设备的制动系统、限位器、压力表等功能正常，且年检合格（需查看设备合格证）。

二、人员资质与操作规范

1. 人员要求

吊装指挥人员需持有《特种设备作业人员证》，操作人员需经过半导体设备专项搬运培训（熟悉设备脆弱部位及防护要点）。

现场至少配置 1 名指挥人员、2 名操作人员，分工明确（如一人负责操作，一人监控设备状态）。

2. 操作流程要点

起吊前确认：

设备可移动部件（如抽屉、盖板）需用螺栓固定或拆除，避免晃动；精密传感器、接口处需加装保护罩（如泡沫板包裹）。

吊装点连接牢固，确保吊具与设备重心垂直（可用水平仪检测设备倾斜度≤1°）。

吊装过程控制：

起吊速度≤0.5 米 / 分钟，匀速升降，禁止急停急启；空中移动时离地高度≤0.3 米，避开通风口、管道等障碍物。

使用牵引绳（长度≥设备宽度 2 倍）控制设备摆动，避免与墙面、其他设备碰撞（安全距离≥0.5 米）。

三、精密防护与环境控制

1. 防震与缓冲措施

运输载体：

搬运车需配备减震装置（如空气弹簧、橡胶垫），行驶速度≤5 公里 / 小时，通过斜坡时坡度≤5°。

设备底部与车厢接触面铺设 2-3 厘米厚 EVA 缓冲垫，并用绑带固定（张力均匀，避免设备移位）。

实时监测：在设备表面粘贴震动传感器（阈值设为 50G），搬运过程中若震动超标立即暂停作业。

2. 防静电（ESD）与防尘处理

ESD 控制：

作业人员需穿戴防静电服、鞋套，佩戴手腕带（接地电阻 1-100MΩ）；吊装工具使用防静电吊带（表面电阻 10⁶-10¹¹Ω）。

搬运路径地面铺设防静电胶皮，设备周围 1 米内禁止使用非防静电工具（如塑料镊子）。

防尘措施：

设备外部包裹防尘罩（材质为聚酯纤维，过滤效率≥99%），通过风淋室时需停留 30 秒以上除尘。

四、特殊场景应对策略

1. 超精密设备（如光刻机）搬运

需在恒温恒湿环境（温度 23±1℃，湿度 45±5% RH）下作业，搬运车内置温控系统，实时监测环境参数。

采用气垫搬运装置（悬浮高度 0.1-0.3 毫米），减少地面震动影响，搬运过程中设备垂直震动幅度≤5μm。

2. 狭窄空间或楼层搬运

提前拆除门框、天花板障碍物，预留宽度≥设备尺寸 + 0.3 米，高度≥设备尺寸 + 0.5 米。

若通过电梯搬运，需确认电梯载重≥设备重量 1.5 倍，且电梯运行速度≤1 米 / 秒，禁止中途急停。

五、应急处置与事后检查

1. 突发情况处理

吊装工具故障：若吊具断裂或设备倾斜，立即启动备用吊点（如设备底部辅助吊环），缓慢下放至缓冲垫上，禁止强行复位。

设备异常报警：搬运中若设备警示灯亮起或发出异响，需立即停止作业，联系设备厂家技术人员排查（禁止擅自拆解）。

2. 事后验收与记录

检查设备外观有无划痕、变形，接口处密封胶条是否脱落；使用专用仪器检测设备精度（如光刻机需重新校准光路）。

记录搬运过程数据（时间、路径、震动值、环境参数），形成《设备搬运报告》存档，便于追溯问题。

六、安全规范与禁忌

禁止行为：

严禁在设备顶部站立或放置重物，避免超过吊具额定载荷（如吊带承重标识为 2 吨，严禁吊装 2.5 吨设备）。

禁止在雷雨、大风（风力≥6 级）等恶劣天气下户外搬运，室内作业时需关闭门窗，避免气流冲击。

关键参数监控：

吊装过程中需实时记录设备倾斜角度（≤3°）、震动加速度（≤10G）、环境温湿度，数据异常时立即干预。

总结

半导体设备吊装搬运的核心是 “精准防护、全程监控”，从工具选型到人员操作需严格遵循标准化流程，结合设备特性制定定制化方案，同时强化应急准备，确保设备在搬运后性能不受影响。建议企业与专业搬运公司合作，定期开展模拟演练，提升应对突发情况的能力。